The Information’ın program hakkında bilgi sahibi iki kaynağa dayandırdığı haberine göre Şanghay’da devlet destekli bir şirket, immersion (daldırmalı) derin ultraviyole (DUV) litografi makinelerinin seri üretimine başladı ve ilk üniteleri bu yıl SMIC, Hua Hong Semiconductor ve bellek üreticisi ChangXin Memory Technologies‘e (CXMT) teslim edecek. Üretim, 2026‘da yaklaşık beş makineyi, 2027‘de ise yaklaşık 20 makineyi hedefliyor. Adı geçen üç alıcının tamamı, şu anda Kongre’de ilerleyen bir yasa tasarısının yasa gereği ASML satışlarından ve servis hizmetlerinden mahrum bırakacağı Çinli firmalar listesinde yer alıyor.
The Information üreticinin adını açıklamadı ancak kaynakları, bu operasyonun aralarında devlet destekli girişim Shanghai Yuliangsheng Technology‘nin de bulunduğu birkaç Çinli şirketten DUV geliştirme ekiplerini topladığını belirtti. SMIC, Eylül 2025‘ten bu yana bir Yuliangsheng immersion aracını test ediyor. Yeni sistemlerdeki bileşenlerin çoğu yerli; ancak bazı kritik parçalar hâlâ Japonya’dan geliyor ve yerel tedarikçilerdeki gecikmeler bu yılki üretimi yavaşlattı.
ABD Temsilciler Meclisi Kararı H.R. 8170; SMIC, Hua Hong, CXMT, Huawei ve YMTC‘yi yasal olarak kısıtlanmış kuruluşlar olarak tanımlıyor. Bu beş şirketten üçü, yerli tarayıcının ismi açıklanan ilk müşterileri arasında yer alıyor. Nisan ayında sunulan MATCH Act, 22 Nisan’da Temsilciler Meclisi Dış İlişkiler Komitesi’nden geçti ve Senato’da S. 4281 adıyla bir eş tasarıya sahip. Tasarının immersion DUV hükümleri yalnızca yeni ihracatları değil, servis ve teknik yardımı da kapsıyor. Böylece kapsam, Çin’deki çip fabrikalarında hâlihazırda çalışan sistemlere kadar uzanıyor. Bu fabrikalar son iki yılı, ikincil kanallardan sağlanan yükseltmelerle kurulu makine parkının ömrünü uzatarak geçirdi.
Finans Direktörü (CFO) Roger Dassen, şirketin Temmuz ayı kazanç toplantısında analistlere, ASML‘nin 2025 ile aynı seviyede kalarak 2026‘da yaklaşık 130 immersion sistemi sevk etmeyi beklediğini söyledi. Dassen, ASML’nin immersion sistemleri için “2027’de kapasiteyi %30 artırmayı” hedeflediğini ve 2028 için bir %30‘luk artışı daha incelediğini ekledi. Esas olarak ana akım mantık çipi talebinin etkisiyle Çin, 2025‘teki %33 seviyesinden gerileyerek bu yıl ASML’nin net satışlarının yaklaşık %20‘sini oluşturuyor.
Immersion DUV, tek pozlamada 28nm sınıfı özellikleri basıyor ve hizalama hataları ile üretim verimi kaybı pahasına çoklu desenleme yoluyla 7nm seviyesine ulaşıyor. ASML CEO’su Christophe Fouquet, aynı toplantıda artan DRAM litografi yoğunluğunun, müşterilerin çoklu desenleme yerine daha ucuz olan tek pozlamalı EUV’ye geçmesini kısmen yansıttığını söyledi.
AI Futures Project‘in Haziran ayındaki bağımsız analizi, ASML’nin immersion pazarının %98,7‘sini elinde tuttuğu bir ortamda, ticari ölçekteki Çin immersion DUV’sini 2030’ların ortasına tarihlendirdi. Yeni makinelerin üretim hatları için onay alması (kalifikasyon) aylar sürebilir ve bu makineler performans ile üretim kalitesi açısından ASML araçlarının gerisinde kalıyor. Reuters’ın aralık ayında çalışan bir prototip olarak ilk kez bildirdiği Çin’in yerli EUV çalışmasının sonuç vermesine ise hâlâ yıllar var.
Kaynak: https://www.tomshardware.com/tech-industry/semiconductors/china-begins-mass-production-of-domestic-immersion-duv-lithography-machines
